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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】什么气体可以用来刻蚀Au？
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snchenge8778

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】什么气体可以用来刻蚀Au？

请问什么气体可以用来刻蚀金？    谢谢    )
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1楼 2011-03-20 15:38:14
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kpliu1

新虫 (初入文坛)
AR+CL2可以刻，但效果很差，建议改用IBE。我实验室有IBE，可刻蚀各种金属、非金属，刻蚀厚度为20纳米~5微米,有需要的可以联系，欢迎来电咨询！
联系电话：
15108299816赵工  邮箱：zyy44138172@126.com
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2楼2011-03-30 00:09:55
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temedx

专家顾问 (著名写手)
snchenge8778(金币+2): 2011-03-31 20:29:39
Fenton试剂倒是可以，不过不是气体。
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3楼2011-03-30 08:11:27
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