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yhl206

木虫 (正式写手)


[交流] 【求助】利用真空操作喷到的诡异现象,求大牛解释!

案例简介:真空室外连两个机械真空泵,不往真空室内通气,正常工作下真空室的真空度10pa(真空规管测量);当往真空室通入5L/min的He时,真空度300Pa(这个水平是正常的), 通入6L/min时真空度3000Pa;按在简单预算,通入真空室He为54L/min时,真空度为300时为正常情况!
从两者的差距来看,相差8倍,真空室的压力相差十倍,而且在进气流量没有达到额定值时,真空度已经远远超过了,计算值!
备注:连接真空室的管道没有漏气现象,气体流量由浮子流量计控制。
若是有真空方面的大牛,不妨赐教,谢谢
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