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yhl206

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】利用真空操作喷到的诡异现象，求大牛解释！

案例简介：真空室外连两个机械真空泵，不往真空室内通气，正常工作下真空室的真空度10pa(真空规管测量)；当往真空室通入5L/min的He时，真空度300Pa（这个水平是正常的）， 通入6L/min时真空度3000Pa；按在简单预算，通入真空室He为54L/min时，真空度为300时为正常情况！
从两者的差距来看，相差8倍，真空室的压力相差十倍，而且在进气流量没有达到额定值时，真空度已经远远超过了，计算值！
备注：连接真空室的管道没有漏气现象，气体流量由浮子流量计控制。
若是有真空方面的大牛，不妨赐教，谢谢
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1楼 2011-03-15 15:11:47
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智能机器人

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