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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
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yanzhedeyu

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
可以试试先单靶测试，确定溅射速率之后再双靶
建议使用掺杂好的靶材，因为工业化生产中不会这样搞的，现在多数都用1%或2%铝含量的AZO陶瓷靶了。
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11楼2011-03-17 11:31:25
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攻克难点

铁虫 (初入文坛)
是啊，我现在开始做的就是用的2%铝含量的AZO陶瓷靶。
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12楼2011-04-07 11:11:49
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bytianping

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by 攻克难点 at 2011-03-11 09:48:48:
掺Al是n型   但Al-N共掺就是p型了

氮掺杂p型ZnO也被质疑了，请看文献：
"Why nitrogen cannot lead to p-type conductivity in ZnO" APPLIED PHYSICS LETTERS 95, 252105 (2009)

浙大的叶志镇是怎么被捅出来学术造假的呢，嘿嘿，跟这有关。
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Thescientistisnotapersonwhogivestherightanswers,he'sonewhoaskstherightquestions.--ClaudeLévi-Strauss
13楼2011-04-07 14:25:43
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懒惰的小鸟

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
AZO靶材的比列就是98:2的
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14楼2012-07-27 09:03:40
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highpy

木虫 (知名作家)
引用回帖:
477820楼: Originally posted by 攻克难点 at 2011-03-11 09:48:48
掺Al是n型   但Al-N共掺就是p型了

这是为什么呢？
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15楼2012-08-27 08:38:58
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highpy

木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
482648楼: Originally posted by blue.wh at 2011-03-11 11:01:34
恩，看书明白了

可不可以简单解释一下阿
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16楼2012-08-27 08:39:25
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ghf4664812

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
lz单质zn靶在溅射时有没有出现氧化的问题啊，你溅射zn的时候用的rf还是dc啊，我在做zn的时候，rf40wzn靶表面出现一层明显的氧化锌
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17楼2014-04-15 21:11:21
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