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扫面电镜做光刻，注意事项
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有人用扫面电镜做过光刻吗？请问需要注意哪些事项？PMMA对电镜腔室是否会造成污染、腐蚀等？ 请高人指点！ |
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wangll876853(金币+5, 博学EPI+1): 2011-03-28 17:00:25
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https://define.cnki.net/WebForms ... 5%88%BB&page=11 https://www.phy.cuhk.edu.hk/inte ... nts_2009/thkpre.pdf |
2楼2011-03-07 17:20:11
