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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】磁控溅射 氧压比怎么确定呀？
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xiali

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射 氧压比怎么确定呀？ 已有5人参与

各位神仙：磁控溅射 氧压比怎么确定呀？
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静以修身，俭以养德
1楼 2011-02-27 21:27:56
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悬崖边的石头

银虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
lpszk(金币+1): 2011-03-04 10:47:49
引用回帖:
Originally posted by xiali at 2011-02-27 21:27:56:
各位神仙：磁控溅射 氧压比怎么确定呀？

比如你要用到氧气和氩气，都要通过流量计来控制气体的流量，上面显示的数值就可以计算腔体里的氧压比了
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5楼2011-03-04 10:40:37
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shuixiang515

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
磁控怎么还有氧压呢？给俺说一下不？
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2楼2011-02-28 20:17:51
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
lpszk(金币+1): 谢谢参与 2011-03-01 08:48:24
比如用金属Zn靶溅射ZnO薄膜就用到氧。
不同设备有不同的比例，先看你们设备的原先记录。
赞一下(2人) 回复此楼
3楼2011-03-01 01:13:37
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diamondli99

木虫 (正式写手)
★ ★
lpszk(金币+2): 谢谢参与交流 2011-03-01 08:48:46
当然是通过你设备上负责监控溅射气体流量的MFC的读数呀，当然，如果设备有条件在外部进行标定的情况下可以依赖外部的标定数据。我们的溅射机就是依靠外部的标准气体进行标定的。能不能说说你设备的具体情况，然后我们再讨论？
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-03-01 08:27:02
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