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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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xiali

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射 氧压比怎么确定呀? 已有5人参与

各位神仙:磁控溅射 氧压比怎么确定呀?
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静以修身,俭以养德
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diamondli99

木虫 (正式写手)

★ ★
lpszk(金币+2): 谢谢参与交流 2011-03-01 08:48:46
当然是通过你设备上负责监控溅射气体流量的MFC的读数呀,当然,如果设备有条件在外部进行标定的情况下可以依赖外部的标定数据。我们的溅射机就是依靠外部的标准气体进行标定的。能不能说说你设备的具体情况,然后我们再讨论?
4楼2011-03-01 08:27:02
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shuixiang515

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
磁控怎么还有氧压呢?给俺说一下不?
2楼2011-02-28 20:17:51
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
lpszk(金币+1): 谢谢参与 2011-03-01 08:48:24
比如用金属Zn靶溅射ZnO薄膜就用到氧。
不同设备有不同的比例,先看你们设备的原先记录。
3楼2011-03-01 01:13:37
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悬崖边的石头

银虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
lpszk(金币+1): 2011-03-04 10:47:49
引用回帖:
Originally posted by xiali at 2011-02-27 21:27:56:
各位神仙:磁控溅射 氧压比怎么确定呀?

比如你要用到氧气和氩气,都要通过流量计来控制气体的流量,上面显示的数值就可以计算腔体里的氧压比了
5楼2011-03-04 10:40:37
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