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【摘要编号】60901009
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2009 项目时间（2010~2012） |
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book2005593
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maccaboy(金币+4, 基金HEPI+1): OK 2011-01-19 17:02:24
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项目编号 60901009 项目名称 CMOS兼容的电容式气压传感器的设计与工艺研究 项目类型 青年科学基金项目 申报学科1 新型传感器理论与技术(F010908) 研究性质 应用基础研究 资助金额 22.00万元 开始日期 2010年1月1日 完成日期 2012年12月31日 项目摘要 气压传感器是气象参数检测的主要器件之一。由于微机电系统(MEMS)技术的进步，基于MEMS的气压计是近年该领域的主要方向之一。本项目将基于标准CMOS工艺，创新性地利用CMOS集成电路工艺中的N阱作为电容式压力传感器下电极、CMOS工艺中金属引线层作为上电极，从而使上下极板的引线容易实现。通过工艺设计、结构设计和气压传感器的应用基础研究，设计出CMOS工艺兼容的气压传感器；对CMOS正面氧化层释放腐蚀、CMOS结构N阱的PN结自停止腐蚀和带有CMOS芯片封闭腔的静电键合工艺进行研究，研制出主要性能符合要求的气压传感器原理样品。本项目的研究结果，将有助于利用标准CMOS工艺，有利于气压传感器与处理电路的单片集成，降低气压传感器的成本。 获资助单位 东南大学(项目负责人) |
2楼2011-01-19 16:56:36