| 查看: 376 | 回复: 1 | |||||||||
| 本帖产生 1 个 基金HEPI ，点击这里进行查看 | |||||||||
[交流]
【摘要编号】60901009
|
|||||||||
2009 项目时间（2010~2012） |
回复此楼» 猜你喜欢
0854求调剂
已经有9人回复
-
材料工程专业日语生求调剂
已经有6人回复
-
071000生物学，一志愿深圳大学296分，求调剂
已经有6人回复
-
调剂
已经有5人回复
-
本科郑州大学，一志愿华东师范大学282求调剂
已经有12人回复
-
一志愿211，化学学硕，310分，本科重点双非，求调剂
已经有8人回复
-
化工学硕 285求调剂
已经有14人回复
-
312求调剂
已经有17人回复
-
生物调剂
已经有6人回复
-
一志愿哈工大，初试329，求环境科学与工程调剂！
已经有9人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
沈阳化工大学环境与安全工程学院生物与医药类、安全工程类、环境工程类接受调剂
+1/596
-
2026年博士研究生·哈工程先进核能材料与辐照效应研究团队
+1/288
-
浙江理工大学物理系招收物理学和光电信息调剂生
+2/150
-
中国水产科学研究院黄海水产研究所张旭志课题组招聘 可穿戴传感器研究 科研助理
+1/87
-
欢迎优秀考生调剂江西理工大学稀土学院
+1/86
-
宁波大学2026年紧急补招植保方向（昆虫或植病）博士研究生1-2名
+1/86
-
延安大学化学与化工学院接收调剂生（化学、化工学硕和材料与化工专硕）
+5/60
-
考研调剂-能源动力、动力工程及工程热物理、新能源科学与工程、建环、材料等学科背景
+1/42
-
上海应用技术大学招收化学、物理、材料类调剂生
+1/40
-
2026年招化学、材料、化工等专业调剂硕士生！初试可不考数学！
+1/24
-
南昌航空大学 材料学院 招材料类调剂研究生，名额多，上岸机会大
+1/18
-
★上海★上海工程技术大学·环境与资源创新中心（ICER）接收化工材料环境等学科调剂生
+1/13
-
中国林科院木材所硕士调剂
+1/6
-
福建理工大学招收专业代码08开头学术型硕士研究生
+1/5
-
王金凤教授团队
+1/5
-
长江师范学院化学化工学院化学工程方向接收大量调剂考生
+1/4
-
大连工业大学考研调剂
+1/3
-
【招收调剂】07/08/09学生看过来 环境 农业 生态学 生物 化学 计算机 材料 市政
+1/3
-
哈尔滨工程大学动力学院赵建辉团队招收2026博士研究生
+1/1
-
西南科技大学国家重点实验室李老师课题组接收材料、化学和化工类研究生调剂
+1/1
book2005593
主管区长 (文坛精英)
- 基金HEPI: 1182
- 应助: 123 (高中生)
- 贵宾: 64.97
- 金币: 161270
- 帖子: 17949
- 在线: 1647.8小时
- 虫号: 539655
maccaboy(金币+4, 基金HEPI+1): OK 2011-01-19 17:02:24
|
项目编号 60901009 项目名称 CMOS兼容的电容式气压传感器的设计与工艺研究 项目类型 青年科学基金项目 申报学科1 新型传感器理论与技术(F010908) 研究性质 应用基础研究 资助金额 22.00万元 开始日期 2010年1月1日 完成日期 2012年12月31日 项目摘要 气压传感器是气象参数检测的主要器件之一。由于微机电系统(MEMS)技术的进步，基于MEMS的气压计是近年该领域的主要方向之一。本项目将基于标准CMOS工艺，创新性地利用CMOS集成电路工艺中的N阱作为电容式压力传感器下电极、CMOS工艺中金属引线层作为上电极，从而使上下极板的引线容易实现。通过工艺设计、结构设计和气压传感器的应用基础研究，设计出CMOS工艺兼容的气压传感器；对CMOS正面氧化层释放腐蚀、CMOS结构N阱的PN结自停止腐蚀和带有CMOS芯片封闭腔的静电键合工艺进行研究，研制出主要性能符合要求的气压传感器原理样品。本项目的研究结果，将有助于利用标准CMOS工艺，有利于气压传感器与处理电路的单片集成，降低气压传感器的成本。 获资助单位 东南大学(项目负责人) |
2楼2011-01-19 16:56:36
