| 查看: 364 | 回复: 1 | |||||||||
| 本帖产生 1 个 基金HEPI ，点击这里进行查看 | |||||||||
[交流]
【摘要编号】60901009
|
|||||||||
2009 项目时间（2010~2012） |
回复此楼» 猜你喜欢
遇见不省心的家人很难过
已经有16人回复
-
退学或坚持读
已经有25人回复
-
博士延得我，科研能力直往上蹿
已经有4人回复
-
免疫学博士有名额，速联系
已经有14人回复
-
面上基金申报没有其他的参与者成吗
已经有4人回复
-
多组分精馏求助
已经有6人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
南方医科大学中药学院 申请考核博士一名 （天然药化方向，天然产物分离经验优先）
+1/272
-
香港岭南大学郭瑛课题组博士招生 (2026年秋季入学）
+1/185
-
天津科技大学邓启良教授团队 招收2026年博士生
+1/80
-
结构动力学与结构健康监测方向欧盟玛丽居里全奖博士招聘
+1/79
-
诚聘 有机光电材料计算方向 博士后、科研助理、访问学生
+1/75
-
娃娃们今儿考试喽。。。。
+1/61
-
时隔多年再次回到小木虫，有一番感慨
+1/51
-
香港科技大学计算物理及流体力学课题组招收全奖博士后及博士生（2026年9月入学）
+1/44
-
武汉工程大学绿碳技术与智能材料课题组诚招2026年博士研究生
+2/22
-
中科院深圳先进院-免疫治疗方向-招收1名博士生(26年9月入学)
+1/14
-
加氢裂化
+1/5
-
广东省智能院与澳门大学/澳门理工联培博士招生
+1/5
-
中山大学柔性电子学院黄维院士团队诚招博士后(柔性可穿戴电子或相关方向)
+1/4
-
电子科技大学 电子科学与工程学院 杨青慧教授 2026年招博士研究生数名
+1/4
-
华南理工大学宋波教授联合唐本忠院士招聘化学和材料方向博士后（长期有效）
+1/3
-
武汉工程大学董志兵教授课题组招收博士/硕士研究生（长期有效）
+1/2
-
香港理工大学Dr. Ga-lai Law课题组招聘博士，博士后，及RA(有兴趣来课题组学习的学生)
+1/2
-
接理论计算，主要包含第一性原理、分子动力学、机器学习、有限元模拟等，欢迎学术交流
+1/2
-
苏州大学毛思锋课题组招收-2026级博士生（药物分析、分析化学、生物传感方向）
+1/1
-
上海交大材料学院招26年秋“申请-考核制”生物材料方向普博生1名 (截至4月10日)
+1/1
book2005593
主管区长 (文坛精英)
- 基金HEPI: 1182
- 应助: 123 (高中生)
- 贵宾: 64.97
- 金币: 161270
- 帖子: 17949
- 在线: 1647.8小时
- 虫号: 539655
maccaboy(金币+4, 基金HEPI+1): OK 2011-01-19 17:02:24
|
项目编号 60901009 项目名称 CMOS兼容的电容式气压传感器的设计与工艺研究 项目类型 青年科学基金项目 申报学科1 新型传感器理论与技术(F010908) 研究性质 应用基础研究 资助金额 22.00万元 开始日期 2010年1月1日 完成日期 2012年12月31日 项目摘要 气压传感器是气象参数检测的主要器件之一。由于微机电系统(MEMS)技术的进步，基于MEMS的气压计是近年该领域的主要方向之一。本项目将基于标准CMOS工艺，创新性地利用CMOS集成电路工艺中的N阱作为电容式压力传感器下电极、CMOS工艺中金属引线层作为上电极，从而使上下极板的引线容易实现。通过工艺设计、结构设计和气压传感器的应用基础研究，设计出CMOS工艺兼容的气压传感器；对CMOS正面氧化层释放腐蚀、CMOS结构N阱的PN结自停止腐蚀和带有CMOS芯片封闭腔的静电键合工艺进行研究，研制出主要性能符合要求的气压传感器原理样品。本项目的研究结果，将有助于利用标准CMOS工艺，有利于气压传感器与处理电路的单片集成，降低气压传感器的成本。 获资助单位 东南大学(项目负责人) |
2楼2011-01-19 16:56:36