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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 【求助】合金靶溅镀产生的非晶与结晶结构?
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starx

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】合金靶溅镀产生的非晶与结晶结构?

想请问各位
当我溅镀合金(TiCr)靶时(加了100 V偏压)
初期会先形成一非晶层(约300 nm)，然后逐渐成核开始长晶(形成柱状晶)。
以上用TEM验证过

我知道一般薄膜科学长膜通常会先形成一层很薄的非晶层，但我这非晶层怎么会这么厚呢？
问导师，导师说这是正常的现象...本来长膜就会先非晶再结晶
好吧!稿投出去了，审稿者希望有较多的讨论跟参考文献可以引用。
历经1个月半还没找到可用的解释和文献

只能请各位帮帮忙了，拜托
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1楼 2011-01-18 04:25:09
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