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【求助】合金靶溅镀产生的非晶与结晶结构?
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想请问各位 当我溅镀合金(TiCr)靶时(加了100 V偏压) 初期会先形成一非晶层(约300 nm)，然后逐渐成核开始长晶(形成柱状晶)。 以上用TEM验证过 我知道一般薄膜科学长膜通常会先形成一层很薄的非晶层，但我这非晶层怎么会这么厚呢？ 问导师，导师说这是正常的现象...本来长膜就会先非晶再结晶 好吧!稿投出去了，审稿者希望有较多的讨论跟参考文献可以引用。 历经1个月半还没找到可用的解释和文献 只能请各位帮帮忙了，拜托 |
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