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bgqun

铁虫 (小有名气)

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[交流] 【讨论】二次电子和背散射像已有3人参与

想讨论下扫描中的二次电子和背散射像。背散射可以看出第二相，但如果第二相是nm级的话，是不是背散射看不太清啊？那能不能用二次电子看？本人最近照出来同一个地方，二次电子能看到很多白点（可能是第二相），但背散射下却很干净，现在糊涂了到底二次电子的结果是不是真实的？

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1楼 2011-01-06 14:56:45

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ccbear

银虫 (小有名气)

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BSE分辨率没有SE的高。但是要是相之间平均原子量有差别的话，用BSE还是能看出相的。只是界限不明显（分辨率的原因）。要是SE下看到白点，BSE下没有，可能是微小的灰尘。建议在超生清洗一遍，重新观察，就没有了。

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4楼2011-01-17 11:38:10

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comma

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二次电子成像是根据二次电子产额来显示衬度，而背散射电子像是根据元素序数，也就说元素轻重来显示衬度。
另外，背散射电子成像要求较大的电子枪束流和大的光阑孔径以达到背散射电子的产额要求，所以背散射电子成像的分辨率比二次电子低很多，差不多10倍数量级。所以nm级不易分辨，需要高端的电镜才好，终归还是抵不过二次电子成像。
楼主所示的情况极有可能是污点或灰尘。

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