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lishiqing木虫 (小有名气)
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【讨论】电子级溶剂的标准 已有3人参与
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| 电子级溶剂的标准？和分析纯主要区别在哪里？ |
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
blueboy(金币+3):鼓励应助 2011-01-02 11:29:45
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电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级。 UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准. UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准 EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺 |
2楼2011-01-01 22:51:47
lishiqing
木虫 (小有名气)
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ljl78901
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