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表面反应的模拟
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pyrolytic
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表面反应的模拟
如果想模拟化学气相沉积过程中的heterogeneous reaction, 用什么软件?化学气相沉积过程中温度较高,气相组分较复杂。
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2010-12-24 16:35:56
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lishufei
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Originally posted by
lishufei
at 2010-12-24 17:12:26:
好像ms里有个模块可以模拟,你可以找找。
materials studio
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3楼
2010-12-26 12:27:17
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lishufei
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pyrolytic(金币+20, 博学EPI+1): 2010-12-26 08:23:19
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Originally posted by
pyrolytic
at 2010-12-24 16:35:56:
如果想模拟化学气相沉积过程中的heterogeneous reaction, 用什么软件?化学气相沉积过程中温度较高,气相组分较复杂。
好像ms里有个模块可以模拟,你可以找找。
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2楼
2010-12-24 17:12:26
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