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pyrolytic

新虫 (小有名气)

[交流] 表面反应的模拟

如果想模拟化学气相沉积过程中的heterogeneous reaction， 用什么软件？化学气相沉积过程中温度较高，气相组分较复杂。
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1楼 2010-12-24 16:35:56
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lishufei

金虫 (正式写手)
pyrolytic(金币+20, 博学EPI+1): 2010-12-26 08:23:19
引用回帖:
Originally posted by pyrolytic at 2010-12-24 16:35:56:
如果想模拟化学气相沉积过程中的heterogeneous reaction， 用什么软件？化学气相沉积过程中温度较高，气相组分较复杂。

好像ms里有个模块可以模拟，你可以找找。
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2楼2010-12-24 17:12:26
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lishufei

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by lishufei at 2010-12-24 17:12:26:

好像ms里有个模块可以模拟，你可以找找。

materials studio
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3楼2010-12-26 12:27:17
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