[交流] 【交流】对于一块表面高度掺杂的硅片，硅片厚度和掺杂深度已知，如何算表面电阻率

一块表面高度掺杂的硅片，硅片厚度和掺杂深度已知 在表面蒸上Au双电极，测得一条线性I-V，我从I-V斜率推出电阻，再根据resistivity=R*A/l，及其conductivity=1/resistivity,得出电导率， 问题是，在算A （area）时，是该只记掺杂层的截面积还是整个膜的截面积，我希望得出的是表面重掺层的conductivity，我是觉得本来表面重掺，导电性远远好于未掺杂的，导电基本就靠掺杂了的表面层，所以就用掺杂层的截面积，结果被小老板训了，说不能这么算，得用整个片子的截面。 请问哪种方法正确？如能给出类似这种情况的文献，将不胜感激 THX~

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