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sidney_lz

金虫 (著名写手)


[交流] 【求助】表面检测

想请教一下,如果我想检测一下材料表面只有几埃(四五层原子)的厚度区域的成分,用什么方法好呢?已知的很多设备比如像是xps检测范围都太深了。
谢谢大家。
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eddie999

金虫 (小有名气)



caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-12-26 19:32:11
sidney_lz(金币+1):谢谢! 2010-12-27 07:46:56
原子探针,可以做到单原子层
2楼2010-12-25 00:26:27
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eddie999

金虫 (小有名气)



caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-12-26 19:32:20
sidney_lz(金币+1):谢谢! 2010-12-27 07:47:01
XPS做得好,4、5个院子层应该能做的到的
3楼2010-12-25 00:29:25
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GLEEBLE-3500

银虫 (小有名气)



caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-12-26 19:32:27
sidney_lz(金币+1):谢谢! 2010-12-27 07:47:04
XPS(X射线光电子能谱):5-25埃,适用于原子序数较大的元素分析
AES(俄歇电子能谱):4-20埃,适用于原子序数较小的元素分析(Z<33)

相对而言:AES能量分辨率较低;分析速度较快;能够进行微区分析;具有很高的空间分辨率,可进行线扫描分析和面分布分析。
4楼2010-12-25 00:46:05
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