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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】表面检测
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sidney_lz

金虫 (著名写手)

[交流] 【求助】表面检测

想请教一下，如果我想检测一下材料表面只有几埃（四五层原子）的厚度区域的成分，用什么方法好呢？已知的很多设备比如像是xps检测范围都太深了。
谢谢大家。
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1楼 2010-12-13 09:06:12
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eddie999

金虫 (小有名气)
★
caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-12-26 19:32:11
sidney_lz(金币+1):谢谢！ 2010-12-27 07:46:56
原子探针，可以做到单原子层
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2楼2010-12-25 00:26:27
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eddie999

金虫 (小有名气)
★
caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-12-26 19:32:20
sidney_lz(金币+1):谢谢！ 2010-12-27 07:47:01
XPS做得好，4、5个院子层应该能做的到的
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3楼2010-12-25 00:29:25
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GLEEBLE-3500

银虫 (小有名气)
★
caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-12-26 19:32:27
sidney_lz(金币+1):谢谢！ 2010-12-27 07:47:04
XPS（X射线光电子能谱）：5-25埃，适用于原子序数较大的元素分析
AES（俄歇电子能谱）：4-20埃，适用于原子序数较小的元素分析（Z<33）

相对而言：AES能量分辨率较低；分析速度较快；能够进行微区分析；具有很高的空间分辨率，可进行线扫描分析和面分布分析。
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4楼2010-12-25 00:46:05
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