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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去？
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xiayudong

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去？ 已有14人参与

我使用一台磁控溅射，真空设备为机械泵和分子泵。
我的实验需要真空4×10（-4次方），加热温度为700度。
我在不加热的情况下，真空可以抽至1×10（-4次方）《==说明腔体不漏气。
但是加热之后，真空却只能抽刀3×10（-3次方）。
请各位兄弟姐妹帮助，谢谢！
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1楼 2010-12-12 18:38:58
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xiayudong

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by chenzq1969 at 2010-12-26 17:15:35:
理想气体状态方程都忘了？

理想气态方程？？？
怎么说？
赞一下 回复此楼
10楼2010-12-28 21:48:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+3):3q 2010-12-13 05:53:04
抽了多长时间没抽下去？
腔室内材料在700度温度下放气可能比较严重。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-12-13 00:25:41
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chenyg07

金虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
估计和其他的抽真空仪器类似，附着气体或者其他杂质在高温低真空时会破坏真空系统
赞一下(1人) 回复此楼
很高兴认识你
3楼2010-12-14 16:58:39
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bible2

版主 (职业作家)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
小木虫:)(金币+2):3q 2010-12-27 04:50:57
我一般的操作是，先用机械泵抽一会儿，到10Pa下，开始加热，10min后，停止加热，一般这个时候的压力是比较大的，100pa左右吧，继续用机械泵抽到10pa，然后开分子泵。这样真空是比较好的。
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2010-12-16 22:46:12
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