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xiayudong金虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去？ 已有14人参与
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我使用一台磁控溅射，真空设备为机械泵和分子泵。 我的实验需要真空4×10（-4次方），加热温度为700度。 我在不加热的情况下，真空可以抽至1×10（-4次方）《==说明腔体不漏气。 但是加热之后，真空却只能抽刀3×10（-3次方）。 请各位兄弟姐妹帮助，谢谢！ |
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5楼2010-12-16 22:54:03