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【请教】【请教】如何制备超薄SiO2薄膜
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| 【请教】如何制备厚度在3~6nm之间的超薄SiO2薄膜，厚度如何检测？国内哪家单位能做这种超薄SiO2膜。希望大虾能给小弟指条明路，非常感谢！！！ |
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2楼2010-12-03 19:38:58
anlerjing(金币+5):是想通过热氧化的方式生长的，但不知具体如何？ 2010-12-05 17:57:09
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如果是Si片上的话 热氧化就可以。如果不是的话，用物理沉积也可以，比如说离子束溅射。http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2640065 厚度的话，椭圆偏振仪可以测的 |
3楼2010-12-05 13:01:14