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anlerjing

铜虫 (小有名气)

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[交流] 【请教】【请教】如何制备超薄SiO2薄膜

【请教】如何制备厚度在3~6nm之间的超薄SiO2薄膜，厚度如何检测？国内哪家单位能做这种超薄SiO2膜。希望大虾能给小弟指条明路，非常感谢！！！

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1楼 2010-12-03 16:21:29

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quanbaogang

木虫 (正式写手)

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anlerjing(金币+2):自然氧化层可能就是1~2nm，在生长超薄氧化层前我们会将这层氧化层去掉的 2010-12-04 10:30:02

用氧等离子体轰击估计可以，只是到底有多厚就难表征了。我以前在RIE中用氧等离子体轰击过单晶硅，发现能够使单晶硅表面出现浅蓝色，那就是氧化硅出现的迹象。但是到底有多少厚度没有去测过。其实单晶硅表面也存在很薄的自然氧化层，厚度应该也在纳米量级，这个厚度应该有文献可查。

上面提到的二氧化硅的致密度和表面平整度估计不会很好。