| 查看: 661 | 回复: 1 | |||
yexuqing木虫之王 (文学泰斗)
太阳系系主任
|
[交流]
【转帖】东电电子发布等离子SiN装置及干式清洗装置 已有1人参与
|
|
东电电子发布等离子SiN装置及干式清洗装置 2010/12/01 00:00 打印 E-mail 东电电子（TEL）将在2010年12月举行的“SEMICON Japan 2010”上展出三款新产品，包括两款绝缘膜成膜装置和一款清洗装置。分别为批量处理式成膜装置“TELINDY PLUS IRad SA”、在枚叶式成膜装置“Trias e+ SPAi”上追加了新功能的装置及干式清洗装置“Certas WING”（参阅本站报道）。 “TELINDY PLUS IRad SA”用于形成氮化硅（SiN）膜，将从2010年12月开始受理订单。据东电电子介绍，该装置是销量约为200台的“TELINDY/TELINDY PLUS IRad”的后续机型，提高了生产效率及成膜性能。生产效率方面，从原来的一次可处理100张增加到了125张。另外，还改进了反应器及等离子源，采用了快速升降温加热器。这样一来，虽然生产效率还因膜厚及工艺条件而异，但比原来最大增加了50％。同时还抑制了粒子的生成，预防性维修（preventive maintenance：PM）周期最多可延长到原来3倍。通过改进石英反应器的构成，还提高了维修时的作业效率。成膜性能方面，通过最大限度确保石英舟上的晶圆间距，加大了工艺裕度等，还可满足今后的工艺需求。 面向“Trias e+ SPAi”追加新功能的装置提高了枚叶式等离子氧化及氮化处理装置的等离子控制性能，将从2011年1月开始受理订单。由此，便可实现今后伴随工艺微细化所需的支持三维（3D）元件构造的成膜，另外还将改善膜质。 “Certas WING”是“Certas”的后续机型，将从2010年12月开始受理订单。主要面向二氧化硅膜（SiO2）的蚀刻和回蚀，以及接触孔的预清理等。东电电子重新设计了腔体，处理能力提高到了原来的2倍，同时还减小了装置的尺寸。（记者：长广 恭明） ■日文原文 【セミコン·プレビュー】プラズマSiN装置やドライ洗浄装置をTELが発表 |
回复此楼» 猜你喜欢
生物学学硕求调剂
已经有10人回复
-
上海电力大学材料防护与新材料重点实验室招收调剂研究生（材料、化学、电化学，环境）
已经有4人回复
-
材料学求调剂
已经有6人回复
-
303求调剂
已经有5人回复
-
一志愿武理085500机械专业总分300求调剂
已经有7人回复
-
考研调剂
已经有4人回复
-
281求调剂
已经有4人回复
-
0805 316求调剂
已经有6人回复
-
085601求调剂总分293英一数二
已经有3人回复
-
08工学调剂
已经有17人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 心经告诉我【转载】
已经有8人回复
- Foxit PhantomPDF Business 5（福昕PDF电子文档处理套件企业版）官方简体中文版及注册
已经有95人回复
- 【已搜索无重复】博弈游戏 by 白波
已经有7人回复
- 谁说幸福离你太远：《幸福的方法》一本让你触摸幸福的书！【转载】
已经有32人回复
- 中毒治验集锦【转载】
已经有7人回复
- 雅思写作流程图【转载】
已经有55人回复
- 【分享】理查德费曼传记《Surely You‘re Joking, Mr Feynman》【已搜索无重复】
已经有26人回复
- 【分享】情感智商【已搜索无重复】
已经有50人回复
- 求同行---计算双电子量子点能级（标准对角化）
已经有24人回复
- 【分享】恋人如何能越吵越甜蜜————让你们的感情越来越好【已搜索无重复】
已经有87人回复
- 哪位帮忙看下 下面给体 受体的得失电子能力 谢谢啊
已经有6人回复
- 【分享】我们工作到底为了什么（这篇文章很重要）----强烈推荐【已搜索无重复】
已经有92人回复
- 【求助/交流】本人要分离产甲烷菌 希望各位虫友帮忙介绍一下除氧的装置（最好是配套的
已经有20人回复
- 【求助】选区电子衍射如何去除挡住最强点的铁杆？
已经有7人回复
curton
主管区长 (文坛精英)
Hello Kitty
-
专家经验: +151 - 应助: 195 (高中生)
- 贵宾: 49.033
- 金币: 81392.2
- 散金: 25181
- 红花: 225
- 沙发: 109
- 帖子: 20300
- 在线: 15504.3小时
- 虫号: 950839
- 注册: 2010-01-30
- 性别: GG
- 专业: 电力电子学
- 管辖: 科研生活区
2楼2010-12-01 13:22:54
6