| 查看: 299 | 回复: 0 | |||
yexuqing木虫之王 (文学泰斗)
太阳系系主任
|
[交流]
【转帖】东芝展望EUV曝光技术，“量产在即，或需要与双图案化技术并用”
|
|
??????EUV??????????????????????????????????????á? 2010/11/22 00:00  ????????????????????Ρ??????????????????????????ASML???????2010??11??18??????????е??ASML/Brion Computational Lithography Seminar 2010??????????????????EUV??????????????????????????????????????????????????????????????????EUV???????????NAND???棩?????????????????ü???????????Χ???????????????????????EUV???????????????ü?????????????1Xnm????????????????????????????????Double Patterning???????????????????????????????????????ArF???????NAND???档 ????????????????????????????????????2009????????????32nm??????????EUV?????????????????ò??????????ArF??????????????????????????????ü???????÷?Χ????????????????2012????????????1Xnm??????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????壬??????100???????????????50??60??????2X??1Xnm??????????????????????Χ???????????????????????OPC?????????????侪?????????????????????EUV???????????????????????????????????????????У?????????????5????????????????????????????????????????EUV????????????????????? ????????о???????EUV???????????????????4????????????????1?????????????????2?????????????????3??????????????computational lithography?????????????????????????4???????????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????EUV???????δ????????????????????????????????????????20nm??????????????????ó???????????????????????????????????????????????? ????????EUV???????????????????????????????????????????????????NA???????off-axis???????????Щ???????????????????????????EUV??????????????????????ü??????????????????????????????????????????????????????????????EUV?????????????????14nm?????????????????????????EUV???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????EUV???????????????????????????? ????? ????????? ?|???EUV????????Z???????b?g???????????????`????????????????? |
回复此楼» 猜你喜欢
存款400万可以在学校里躺平吗
已经有36人回复
-
英文综述是否需要润色及查重
已经有5人回复
-
救命帖
已经有5人回复
-
限项规定
已经有5人回复
-
为什么nbs上溴 没有产物点出现呢
已经有9人回复
-
招博士
已经有3人回复
-
最失望的一年
已经有18人回复
-
求推荐英文EI期刊
已经有5人回复
