| 查看: 353 | 回复: 0 | |||
yexuqing木虫之王 (文学泰斗)
太阳系系主任
|
[交流]
【转帖】东芝展望EUV曝光技术，“量产在即，或需要与双图案化技术并用”
|
|
??????EUV??????????????????????????????????????á? 2010/11/22 00:00  ????????????????????Ρ??????????????????????????ASML???????2010??11??18??????????е??ASML/Brion Computational Lithography Seminar 2010??????????????????EUV??????????????????????????????????????????????????????????????????EUV???????????NAND???棩?????????????????ü???????????Χ???????????????????????EUV???????????????ü?????????????1Xnm????????????????????????????????Double Patterning???????????????????????????????????????ArF???????NAND???档 ????????????????????????????????????2009????????????32nm??????????EUV?????????????????ò??????????ArF??????????????????????????????ü???????÷?Χ????????????????2012????????????1Xnm??????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????壬??????100???????????????50??60??????2X??1Xnm??????????????????????Χ???????????????????????OPC?????????????侪?????????????????????EUV???????????????????????????????????????????У?????????????5????????????????????????????????????????EUV????????????????????? ????????о???????EUV???????????????????4????????????????1?????????????????2?????????????????3??????????????computational lithography?????????????????????????4???????????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????EUV???????δ????????????????????????????????????????20nm??????????????????ó???????????????????????????????????????????????? ????????EUV???????????????????????????????????????????????????NA???????off-axis???????????Щ???????????????????????????EUV??????????????????????ü??????????????????????????????????????????????????????????????EUV?????????????????14nm?????????????????????????EUV???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????EUV???????????????????????????? ????? ????????? ?|???EUV????????Z???????b?g???????????????`????????????????? |
回复此楼» 猜你喜欢
评委有多少概率知道其他专家手中有哪些人的本子？
已经有4人回复
-
E0414, 我的本子有没有希望？
已经有17人回复
-
青A35岁以下通知答辩了吗
已经有4人回复
-
小城的小雨
已经有3人回复
-
看《给阿ma的情书》有感
已经有5人回复
-
国自然申请五篇代表作大比拼，感觉这个是最重要的
已经有4人回复
-
雷雨
已经有3人回复