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【交流】有关高聚物的磁控溅射中的腐蚀及毒性的问题!
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20041696
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[交流]
【交流】有关高聚物的磁控溅射中的腐蚀及毒性的问题!
本人想开展一个比较新的课题,涉及到高聚物的磁控溅射。和老板交流了一次,她死活不同意,原因有二:高聚物的溅射出来的微小颗粒有毒性,对磁控溅射腔室有腐蚀性。但是我觉得这个好像不是问题,因为微小颗粒都会被真空系统给抽调,一般高聚物分子或离子对金属是惰性,很少发生化学反应的。如果有高手做这方面的研究麻烦指点一下,谢谢
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