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[交流]
【交流】有关高聚物的磁控溅射中的腐蚀及毒性的问题！
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| 本人想开展一个比较新的课题，涉及到高聚物的磁控溅射。和老板交流了一次，她死活不同意，原因有二：高聚物的溅射出来的微小颗粒有毒性，对磁控溅射腔室有腐蚀性。但是我觉得这个好像不是问题，因为微小颗粒都会被真空系统给抽调，一般高聚物分子或离子对金属是惰性，很少发生化学反应的。如果有高手做这方面的研究麻烦指点一下，谢谢 |
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2楼2010-11-14 11:22:13
