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doublewei

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】为什么我的氮化钛（TiN）是黑色的

有个问题想请教大家，我用电子束蒸发制备TiN薄膜，为什么得到的样品是黑色的啊？厚度已经很厚了，不透明。谢谢了
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1楼2010-11-11 14:31:53
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nano168

银虫 (小有名气)
★
doublewei(金币+1): 2010-11-15 11:08:39
enquan123(金币+1):鼓励交流！ 2010-11-15 11:39:30
您好，纳米级氮化钛就是黑色的。
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2楼2010-11-13 14:17:51
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418783132

木虫 (著名写手)
★
csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-11-15 08:33:59
doublewei(金币+2): 2010-11-15 11:08:45
引用回帖:
Originally posted by doublewei at 2010-11-11 14:31:53:
有个问题想请教大家，我用电子束蒸发制备TiN薄膜，为什么得到的样品是黑色的啊？厚度已经很厚了，不透明。谢谢了

你是涂层吗？可能含有其他元素，TiN 是金黄色的，但是加入Al等，就会是黑色如 ：TiAlN
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3楼2010-11-14 12:16:13
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doublewei

银虫 (小有名气)
我是利用电子束蒸镀的方法，在玻璃基底上制备的薄膜。在开始束流较小，出来的膜层较薄，但是感觉上较淡。后来我加大了束流，就发现整个真空腔体内都变黑了。应该确定没有Al的掺杂。电子束蒸镀的过程中打火现象也比较明显，不知道是怎么回事……
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4楼2010-11-15 11:12:55
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418783132

木虫 (著名写手)
★
csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-11-15 13:48:56
蒸发镀膜啊，真空腔体你管他干嘛，时间长了肯定是黑的， 你是玻璃上做的啊，不是有Si吗
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5楼2010-11-15 12:14:11
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doublewei

银虫 (小有名气)
对，真空电子束沉积，原材料是TiN的块材。出来的薄膜很不好，是不是电子束的束流过大的原因，不太清楚。以前不管是磁控、热蒸发还是电子束，出来的材料都是比较较为致密的，但是这次出来的TiN是黑色的粉末，不知道是啥情况……
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6楼2010-11-16 10:37:17
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物理过客

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主你好！您用什么材质的坩埚镀氮化钛呢
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7楼2018-05-12 11:45:20
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