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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】为什么我的氮化钛（TiN）是黑色的
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doublewei

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】为什么我的氮化钛（TiN）是黑色的

有个问题想请教大家，我用电子束蒸发制备TiN薄膜，为什么得到的样品是黑色的啊？厚度已经很厚了，不透明。谢谢了
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1楼 2010-11-11 14:31:53
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doublewei

银虫 (小有名气)
我是利用电子束蒸镀的方法，在玻璃基底上制备的薄膜。在开始束流较小，出来的膜层较薄，但是感觉上较淡。后来我加大了束流，就发现整个真空腔体内都变黑了。应该确定没有Al的掺杂。电子束蒸镀的过程中打火现象也比较明显，不知道是怎么回事……
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4楼2010-11-15 11:12:55
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doublewei

银虫 (小有名气)
对，真空电子束沉积，原材料是TiN的块材。出来的薄膜很不好，是不是电子束的束流过大的原因，不太清楚。以前不管是磁控、热蒸发还是电子束，出来的材料都是比较较为致密的，但是这次出来的TiN是黑色的粉末，不知道是啥情况……
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6楼2010-11-16 10:37:17
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