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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

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【答案】应助回帖

★
Pd7577(金币+1):24小时内回帖奖励 2010-11-09 18:39:50
yanyanzhang(金币+5, 博学EPI+1): 2010-11-11 08:30:46

金属有机物化学气相沉积（MOCVD）：AIXTRON 3片3寸片氮化物的：100万美元吧
激光诱导的，等离子体增强的等等国内北科仪、沈科仪做得都不错，大家基本都买国内的，价格看设备具体情况了（反应室大小；本底真空度要求；是否要求装样室、手套箱；加热器温度....），价格在40万元至100万元的最常见。

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没有困难创造困难也要上网。

2楼2010-11-09 16:46:10

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