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yanyanzhang

银虫 (小有名气)

[求助] 关于气相沉积仪器

请问一下气相沉积的仪器有公司可以购买吗?还是需要自己搭建呢?
(电加热的,激光诱导的,等离子的,还有啥高能粒子的)
如果有公司的话,能否给公司的名称,最好国外的公司。
如果知道价格的话,也告知吧,大概的价格,能多一点,别少了就可以!

我实在不懂,但是要写一个东西,希望大家帮忙吧!

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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖


Pd7577(金币+1):24小时内回帖奖励 2010-11-09 18:39:50
yanyanzhang(金币+5, 博学EPI+1): 2010-11-11 08:30:46
金属有机物化学气相沉积(MOCVD):AIXTRON  3片3寸片氮化物的:100万美元吧
激光诱导的,等离子体增强的等等国内北科仪、沈科仪做得都不错,大家基本都买国内的,价格看设备具体情况了(反应室大小;本底真空度要求;是否要求装样室、手套箱;加热器温度....),价格在40万元至100万元的最常见。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2010-11-09 16:46:10
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红色橄榄叶

禁言 (小有名气)

yanyanzhang(金币+2): 2010-11-11 08:31:08
本帖内容被屏蔽

3楼2010-11-10 09:35:26
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yanyanzhang

银虫 (小有名气)

如果自己设计生产,那些激光,或者等离子体,要买什么仪器可以用?
4楼2010-11-11 08:30:33
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

引用回帖:
Originally posted by yanyanzhang at 2010-11-11 08:30:33:
如果自己设计生产,那些激光,或者等离子体,要买什么仪器可以用?

对于这些装置,厂家有成型的产品,当然也可以按照用户的要求去设计制造。PLD的激光器肯定是购买的了;除非楼主有自己独特的想法,比如某种等离子体源是自己设计的,那么附属的射频电源、微波源等通常是要购买的。此外真空泵、流量计、真空计一类的是买的。真空室及结构可由楼主提出设计建议,由厂家辅助设计和制造。
没有困难创造困难也要上网。
5楼2010-11-11 08:43:11
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