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新虫 (初入文坛)


[交流] 【讨论】薄膜晶体管亚阈值摆幅过大是什么原因?

用的SiNx的绝缘层,ZnO沟道层,怀疑是Si界面悬挂键多,缺陷态密度大引起的,准备沉积沟道层前用氧等离子体处理一下SiNx表面看看。
大家一般碰到这种情况怎么处理的

附图


[ Last edited by subject on 2010-11-9 at 16:22 ]
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