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yipaishi

银虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】有用聚硅氮烷前驱体制薄膜的吗？讨论一下。

如题。聚硅氮烷不加填料 溶胶凝胶法 在硅片上制备薄膜。
新手，跨专业，各位大虾有略懂一二的都请不吝赐教。

现在的具体问题是，1. 我用四氢呋喃溶解聚硅氮烷，应该配成浓度多少合适？30%行吗。文献提到聚硅碳烷配成质量分数40--60%。
2. N2保护下，1400度转Si3N4晶体。应该保温多少时间？希望不要太长。3h如何？

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1楼 2010-11-09 01:25:27

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yipaishi

银虫 (小有名气)

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木人说说嘛？

3楼2010-11-10 15:55:36

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yipaishi

银虫 (小有名气)

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样品测完了。失败。聚硅氮烷烧出来的东西竟然不含氮。也没有晶粒生成。为什么呢

4楼2011-01-01 00:24:54

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yipaishi2楼

2010-11-09 13:29

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