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yipaishi

银虫 (小有名气)


[交流] 【求助】有用聚硅氮烷前驱体制薄膜的吗?讨论一下。

如题。聚硅氮烷不加填料 溶胶凝胶法 在硅片上制备薄膜
新手,跨专业,各位大虾有略懂一二的都请不吝赐教。

现在的具体问题是,1. 我用四氢呋喃溶解聚硅氮烷,应该配成浓度多少合适?30%行吗。文献提到聚硅碳烷配成质量分数40--60%。
2.  N2保护下,1400度转Si3N4晶体。应该保温多少时间?希望不要太长。3h如何?
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yipaishi

银虫 (小有名气)


木人说说嘛?
3楼2010-11-10 15:55:36
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yipaishi

银虫 (小有名气)


样品测完了。失败。聚硅氮烷烧出来的东西竟然不含氮。也没有晶粒生成。为什么呢
4楼2011-01-01 00:24:54
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yipaishi2楼
2010-11-09 13:29  
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