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zhxfish

金虫 (著名写手)

[交流] 【请教】掺Al的ZnO薄膜XRD图谱解读


大家看看哈,
那个不对称的峰位在33.4°,70°附近也有一个,好像可以对应65-2880卡片的(111)和(222),但这是常规磁控溅射制备的100多nm厚的薄膜,基底是K9, 好像还没人制出这个峰位的,如果确认是,这可是闪锌矿结构,而大家绝大多数情况都是纤锌矿结构。
欢迎大家质疑和提供解释。
也可邮件联系:zhangxf315@yahoo.com.cn

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人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
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zhxfish

金虫 (著名写手)

斑竹,我的请教结束,请删此贴或者请退还我的金币,呵呵
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
8楼2010-11-20 14:08:31
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xhtangxh

木虫 (著名写手)

有木有虫

zhxfish(金币+2):谢谢你! 2010-11-06 15:53:50
用Cu靶还是其它靶做的?装没装Göbel镜?角度校正过吗?对这个推测结论深表怀疑。100nm以上薄膜的衍射峰展宽不可能有这么大,再说PDF 65-2880的(222)衍射峰相对强度非常低,仅为(111)的4%,这个峰都能出来,那么相对强度高出其几倍甚至10倍的(200)、(220)、(311)峰至少应有迹可循,图中却毫无征兆,这显然说不通。
2楼2010-11-06 14:32:52
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zhxfish

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by xhtangxh at 2010-11-06 14:32:52:
用Cu靶还是其它靶做的?装没装Göbel镜?角度校正过吗?对这个推测结论深表怀疑。100nm以上薄膜的衍射峰展宽不可能有这么大,再说PDF 65-2880的(222)衍射峰相对强度非常低,仅为(111)的4%,这个峰都能出来,那 ...

首先谢谢你的回复!
用的是铜靶,使用的是常规粉末衍射仪,但功率可达10kW,本图为4kW测试结构,10kW测的图基本相同;
应该是没有装Göbel镜,还是汇聚光束;
其实我也对这个结果深表怀疑!!!
衍射峰展宽如果是很小的晶粒,展宽还是有可能的,何况这里的不对称峰可能是双峰的叠加,我初步猜测是六方(002)和立方的(111);
但这是特殊的ZnO,数以万计的文章做的峰都在34.4°附近,也就是说是六方相,只有极其个别人看到这个峰位的。
我向测试单位要了硅粉标样,发现和卡片对应很好;我后来发现他们今年九月搬过机器,而给我是08年标定的标样;但后来说今天搬动机器后工程师校正过了,也使用硅粉连续扫描发现峰位吻合很好,所以角度校正问题应该可以排除了吧?!
您说的峰强比值问题,我觉得只能作为参考,这里是掺了2wt%的Al的,而且ZnO薄膜一向织构很强。
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
3楼2010-11-06 15:52:35
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xhtangxh

木虫 (著名写手)

有木有虫

zhxfish(金币+2): 2010-11-06 19:04:01
即使有掺Al和织构因素的影响,(200)、(220)、(311)峰至少还是应该有一定强度的。34.4°处的“单峰”可以有很多解释,比如掺杂的均匀性、测试样的平整度、狭缝匹配等。装Göbel镜的衍射仪国内也有不少了,如果可能,还是尽量找台专做薄膜的仪器测测吧,毕竟又准确又能获得很多织构方面的参数,倘或真如假设这点测试费还是值得花的。祝好运!
4楼2010-11-06 17:07:36
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