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lili-00006

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】场发射扫描电镜的问题:测试样品变黑像烧掉一样,为什么 已有5人参与

我的样品是二氧化钛薄膜,载体用的是一般的载玻片,高温600℃煅烧成晶型后,做场发射扫描电镜的时候,电子束打上去变成黑的,像是烧掉了一样,怎么回事啊?做二氧化钛膜之前的模板用的高分子聚合物:聚苯乙烯微球,做场发射的时候也是电子束打上去变成黑的,像是烧掉了一样....高人解释一下,怎么回事?
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ccbear

银虫 (小有名气)

lili-00006(金币+1): 非常感谢你~~~ 2011-01-19 12:43:39
照射时间长了区域变黑有几个可能,第一个:表面有污染,电子束照射会合表面油污发生反应产生碳氢化合物,附在表面,使信号产率下降。结局方法,尽量洗净,不要长时间在同一区域照射电子束。第二个:电子束能量过大,破坏表面结构。解决办法降低电子束。比如镁合金,一般最大电子束不超高15Kv,一般不打能谱,只表面观察,10KV就够了。第三个:导电性不好,有机合成的,比如一些涂料,冷镶用的环氧树脂,都是导电性不好的,可以预先表面处理,喷碳喷金,也能改善。
22楼2011-01-19 10:53:35
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ada669

木虫 (正式写手)

★
lili-00006(金币+2): 2010-11-02 22:05:30
caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-11-02 22:37:06
GG,电子束斑能量不低的。连我做镁合金大块的都能打一黑区出来何况您这个?
ada
2楼2010-11-02 20:21:23
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lili-00006

木虫 (正式写手)

您是怎么解决的

引用回帖:
Originally posted by ada669 at 2010-11-02 20:21:23:
GG,电子束斑能量不低的。连我做镁合金大块的都能打一黑区出来何况您这个?

请问你是怎么解决这个问题的?
3楼2010-11-02 22:09:14
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lvyanwei91

铜虫 (小有名气)

lili-00006(金币+2): 2010-11-03 08:32:04
lili-00006(金币+1):谢谢~~~只是打黑之后没有办法观察,管仪器的老师还害怕把仪器弄坏了呢,呵呵 2010-11-03 08:33:07
我的是纯钨的材料,当时也是打的时间过长之后出现了一圈黑色的痕迹,这个没办法,只能是在一个区域看了之后,照了几张满意照片后赶紧换区域,不要在一个区域停留时间过长!
大家好,我是一名在读博士生,望大家以后多多交流!!
4楼2010-11-03 00:06:45
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