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lili-00006

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】场发射扫描电镜的问题:测试样品变黑像烧掉一样,为什么 已有5人参与

我的样品是二氧化钛薄膜,载体用的是一般的载玻片,高温600℃煅烧成晶型后,做场发射扫描电镜的时候,电子束打上去变成黑的,像是烧掉了一样,怎么回事啊?做二氧化钛膜之前的模板用的高分子聚合物:聚苯乙烯微球,做场发射的时候也是电子束打上去变成黑的,像是烧掉了一样....高人解释一下,怎么回事?
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guoguoyu20

银虫 (正式写手)

lili-00006(金币+1):喷金了,就是没有用导电胶连接,很有可能是这个原因...之前做SEM的时候喷金也用导电胶连接,都没有出现这个情况...我再找老师试试,谢谢!! 2010-11-03 08:42:21
解决的办法就是喷金,然后用导电胶把待测的薄膜与样品台连接起来,效果会好点。因为你的薄膜很薄,用的模板剂又是高分子的,载体又是一般的载玻片,导电性肯定很差
8楼2010-11-03 08:38:32
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guoguoyu20

银虫 (正式写手)

只要是不导电的物质,用了都不怎么样,如果不做能谱分析,喷金是个很好选择
9楼2010-11-03 08:41:06
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普通回帖

ada669

木虫 (正式写手)


lili-00006(金币+2): 2010-11-02 22:05:30
caocao4735(金币+1):谢谢交流 2010-11-02 22:37:06
GG,电子束斑能量不低的。连我做镁合金大块的都能打一黑区出来何况您这个?
ada
2楼2010-11-02 20:21:23
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lili-00006

木虫 (正式写手)

您是怎么解决的

引用回帖:
Originally posted by ada669 at 2010-11-02 20:21:23:
GG,电子束斑能量不低的。连我做镁合金大块的都能打一黑区出来何况您这个?

请问你是怎么解决这个问题的?
3楼2010-11-02 22:09:14
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lvyanwei91

铜虫 (小有名气)

lili-00006(金币+2): 2010-11-03 08:32:04
lili-00006(金币+1):谢谢~~~只是打黑之后没有办法观察,管仪器的老师还害怕把仪器弄坏了呢,呵呵 2010-11-03 08:33:07
我的是纯钨的材料,当时也是打的时间过长之后出现了一圈黑色的痕迹,这个没办法,只能是在一个区域看了之后,照了几张满意照片后赶紧换区域,不要在一个区域停留时间过长!
大家好,我是一名在读博士生,望大家以后多多交流!!
4楼2010-11-03 00:06:45
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pheobe237

木虫 (正式写手)

lili-00006(金币+1):这个主意不错,可以和管仪器的老师商量下,谢谢你~~~ 2010-11-03 08:33:48
楼上说得对,不要让电子束在样品的一个区域停留太长时间。或者你可以在保证图像质量的前提下适当降低加速电压。
转身天涯
5楼2010-11-03 08:05:05
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clgfzzlp1987

木虫 (著名写手)

lili-00006(金币+1):这个我不懂啊...我的都600℃煅烧了,再烧很难理解了 2010-11-03 08:34:33
是不是被电子灼烧了?
6楼2010-11-03 08:18:09
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guoguoyu20

银虫 (正式写手)

lili-00006(金币+2):您的解释我明白很多...那我换个载体,譬如说用硅片做载体是不是能好点? 2010-11-03 08:39:05
高分子的物质经过电子束一打就很容易塌陷并变黑,因为电子束的能量过高,致使打过区域物质分解,而且你的只是薄膜,基材还是不导电的物质,即使上面是导电的薄膜,但是电子经过一层不导电的物质,其电子还是无法流出去形成通路。避开这些不导电的物质和高分子材料,如果还变黑的话,那就有可能是你的镜头已经积碳了。
7楼2010-11-03 08:33:36
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逍遥小傲

木虫 (著名写手)

lili-00006(金币+1):谢谢参与 2010-11-03 14:53:53
不知道
10楼2010-11-03 08:46:42
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