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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【求助】纳米钛膜的厚度怎么测量
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380677864

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】纳米钛膜的厚度怎么测量 已有5人参与

RT，我最近磁控溅射做了钛薄膜，现在需要测厚度？用SEM可以吗，老板说用SEM照截面，觉得不准啊
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1楼 2010-10-29 11:27:47
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

心静、静心

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★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
SEM可以看薄膜的厚度，只要扫描截面就可以了
赞一下(1人) 回复此楼
学会选择，懂得放弃，有信心不一定会赢，没信心一定会输
4楼2010-10-29 11:55:18
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hfut1879

至尊木虫 (文坛精英)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yunruirui(金币+1):谢谢参与 2010-10-29 19:23:23
可以实现啊，SEM图片有标尺
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-10-29 11:39:09
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llzzgging

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
但是切片怎么做啊？？毛刺影响太大了啊
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5楼2011-05-31 10:30:54
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doesun

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010: 这是广告还是帮助呢 2011-05-31 20:08:05
引用回帖:
Originally posted by llzzgging at 2011-05-31 10:30:54:
但是切片怎么做啊？？毛刺影响太大了啊

SEM准确度很差的,主要是无法确定切的方向和定标问题,TEM可以利用衬底的高分辨做内标,同时可以利用旋转双倾台实现切的方向的修正.TEM制样同样比较麻烦,上海doesun是为科研机构提供此类服务的专业公司.
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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
6楼2011-05-31 10:51:48
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