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【讨论】硅料清洗的问题
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硅料清洗过程中(腐蚀): 1.采用硝酸和氢氟酸混合酸,反应过快为什么加硝酸就可以降低反应速度? 2.有时候硝酸和氢氟酸的配比过大,硅料表面会发亮,什么原因? [ Last edited by xoyo0911yf on 2010-11-8 at 19:05 ] |
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