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【讨论】硅料清洗的问题
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硅料清洗过程中（腐蚀）： 1.采用硝酸和氢氟酸混合酸，反应过快为什么加硝酸就可以降低反应速度？ 2.有时候硝酸和氢氟酸的配比过大，硅料表面会发亮，什么原因？ [ Last edited by xoyo0911yf on 2010-11-8 at 19:05 ] |
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