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【求助】HF酸清洗石英腔室之后从透明变成白色，何解？
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RTP用石英腔，由于有其他离子沾污，用10%HF清洗了下，泡的时间有点长，半小时左右，结果烘干之后石英腔上有白色，不是透明的了。请问该如何处理？ [ Last edited by cylar on 2010-10-26 at 12:23 ] |
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徐兵
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4楼2010-11-01 11:01:09