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cylar

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】HF酸清洗石英腔室之后从透明变成白色,何解?

RTP用石英腔,由于有其他离子沾污,用10%HF清洗了下,泡的时间有点长,半小时左右,结果烘干之后石英腔上有白色,不是透明的了。请问该如何处理?

[ Last edited by cylar on 2010-10-26 at 12:23 ]
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努力做实验,加油啊!
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mse507

木虫 (正式写手)

cylar(金币+5):谢谢,希望没什么影响。 2010-10-26 13:44:57
半个小时HF足可以把你的石英腔腐蚀100纳米以上了,变白说明表面成了毛玻璃。不过对炉子影响不大,均匀性反而会提高。
2楼2010-10-26 12:36:44
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cylar

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by mse507 at 2010-10-26 12:36:44:
半个小时HF足可以把你的石英腔腐蚀100纳米以上了,变白说明表面成了毛玻璃。不过对炉子影响不大,均匀性反而会提高。

我的炉子是光热的,就怕透光性不好影响升降温速率。
努力做实验,加油啊!
3楼2010-10-26 13:44:15
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徐兵

木虫 (正式写手)

氢氟酸本来对石英就有很强的腐蚀作用,雕刻玻璃不就是用的HF么?
曾经拥有的,不要忘记。不能得到的,更要珍惜。属于自己的,不要放弃。已经失去的,留作回忆。
4楼2010-11-01 11:01:09
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sunnystone

至尊木虫 (著名写手)

superbig

被腐蚀了,sif4
宁静致远
5楼2010-11-27 21:01:47
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