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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】HF酸清洗石英腔室之后从透明变成白色，何解？
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cylar

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】HF酸清洗石英腔室之后从透明变成白色，何解？

RTP用石英腔，由于有其他离子沾污，用10%HF清洗了下，泡的时间有点长，半小时左右，结果烘干之后石英腔上有白色，不是透明的了。请问该如何处理？

[ Last edited by cylar on 2010-10-26 at 12:23 ]
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努力做实验，加油啊！
1楼 2010-10-26 12:21:25
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mse507

木虫 (正式写手)
cylar(金币+5):谢谢，希望没什么影响。 2010-10-26 13:44:57
半个小时HF足可以把你的石英腔腐蚀100纳米以上了，变白说明表面成了毛玻璃。不过对炉子影响不大，均匀性反而会提高。
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2楼2010-10-26 12:36:44
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cylar

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by mse507 at 2010-10-26 12:36:44:
半个小时HF足可以把你的石英腔腐蚀100纳米以上了，变白说明表面成了毛玻璃。不过对炉子影响不大，均匀性反而会提高。

我的炉子是光热的，就怕透光性不好影响升降温速率。
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努力做实验，加油啊！
3楼2010-10-26 13:44:15
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徐兵

木虫 (正式写手)
氢氟酸本来对石英就有很强的腐蚀作用，雕刻玻璃不就是用的HF么？
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曾经拥有的，不要忘记。不能得到的，更要珍惜。属于自己的，不要放弃。已经失去的，留作回忆。
4楼2010-11-01 11:01:09
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sunnystone

至尊木虫 (著名写手)

superbig
被腐蚀了，sif4
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宁静致远
5楼2010-11-27 21:01:47
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