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【请教】请教扫描电镜问题
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| 请教各位虫友高手 热场SEM和冷场SEM有什么不同？区别在哪里？哪个做的形貌比较好？ |
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2楼2010-10-25 11:03:41
骑着蜗牛追火箭
木虫 (著名写手)
纳米小生
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yunruirui(金币+2):谢谢参与 2010-10-25 14:19:34
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45499612(金币+4): 2011-02-21 23:06:25
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| 冷场是常温下通过强电场拉出灯丝的电子（尖端放电），电子束比较细，理论分辨率高，但由于电子束太细，信噪比又降低了；热场是灯丝加热到1000度左右，这时没有自由电子流出，再通过电场拉出电子，这样电子束比较大一些，spot也就大一些，分辨率理论上不如冷场。比起常规扫描电镜，热场的分辨率已经高出一到两个数量级了。现在一般都用热场，因为成本低一些，做得好的，效果可以跟冷场差不多。 |
3楼2010-10-25 12:38:45
骑着蜗牛追火箭
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4楼2010-10-25 12:39:37
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5楼2010-11-01 17:12:13
