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45499612

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】请教扫描电镜问题

请教各位虫友高手 热场SEM和冷场SEM有什么不同?区别在哪里?哪个做的形貌比较好?
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p2o3

木虫 (正式写手)

★ ★
45499612(金币+1):谢谢参与
yunruirui(金币+1):谢谢参与 2010-10-25 14:19:25
45499612(金币+1): 2010-10-25 15:32:18
45499612(金币+2): 2011-02-21 23:06:37
好像有的样品需要高温时显示特定的形貌,所以需要热场SEM表征。至于哪个好,主要看你的样品的特性了。
2楼2010-10-25 11:03:41
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骑着蜗牛追火箭

木虫 (著名写手)

纳米小生

★ ★ ★
45499612(金币+1):谢谢参与
yunruirui(金币+2):谢谢参与 2010-10-25 14:19:34
45499612(金币+2): 2010-10-25 15:33:41
45499612(金币+4): 2011-02-21 23:06:25
冷场是常温下通过强电场拉出灯丝的电子(尖端放电),电子束比较细,理论分辨率高,但由于电子束太细,信噪比又降低了;热场是灯丝加热到1000度左右,这时没有自由电子流出,再通过电场拉出电子,这样电子束比较大一些,spot也就大一些,分辨率理论上不如冷场。比起常规扫描电镜,热场的分辨率已经高出一到两个数量级了。现在一般都用热场,因为成本低一些,做得好的,效果可以跟冷场差不多。
3楼2010-10-25 12:38:45
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骑着蜗牛追火箭

木虫 (著名写手)

纳米小生

yunruirui:谢谢参与 2010-10-25 14:19:40
45499612(金币+1): 2010-10-26 12:36:03
45499612(金币+1): 2011-02-21 23:06:16
引用回帖:
Originally posted by p2o3 at 2010-10-25 11:03:41:
好像有的样品需要高温时显示特定的形貌,所以需要热场SEM表征。至于哪个好,主要看你的样品的特性了。

那是环境扫描电镜里的冷热台。
4楼2010-10-25 12:39:37
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274233848

铁杆木虫 (著名写手)


45499612(金币+1):谢谢参与
45499612(金币+1): 2011-02-21 23:06:08
同意3楼,4楼
5楼2010-11-01 17:12:13
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