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45499612木虫 (正式写手)
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【请教】请教扫描电镜问题
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| 请教各位虫友高手 热场SEM和冷场SEM有什么不同?区别在哪里?哪个做的形貌比较好? |
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2楼2010-10-25 11:03:41
骑着蜗牛追火箭
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45499612(金币+1):谢谢参与
yunruirui(金币+2):谢谢参与 2010-10-25 14:19:34
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45499612(金币+4): 2011-02-21 23:06:25
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45499612(金币+4): 2011-02-21 23:06:25
| 冷场是常温下通过强电场拉出灯丝的电子(尖端放电),电子束比较细,理论分辨率高,但由于电子束太细,信噪比又降低了;热场是灯丝加热到1000度左右,这时没有自由电子流出,再通过电场拉出电子,这样电子束比较大一些,spot也就大一些,分辨率理论上不如冷场。比起常规扫描电镜,热场的分辨率已经高出一到两个数量级了。现在一般都用热场,因为成本低一些,做得好的,效果可以跟冷场差不多。 |
3楼2010-10-25 12:38:45
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