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M.K

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】非晶氧化铝要用什么腐蚀液腐蚀

RT，
要做光刻，不知道非晶氧化铝（100nm左右），用什么腐蚀液腐蚀，请大家多多指教。谢谢。
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魔鬼的孩子自有魔鬼的好运
1楼 2010-10-17 18:09:06
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ppttcug

木虫 (小有名气)

甲虫
M.K(金币+5): 2010-10-17 19:39:06
一般用碱液能溶解氧化铝。话说我做的纳米非晶氧化铝纤维用酒精就能洗掉了，根本没法做电镜
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2楼2010-10-17 19:04:24
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