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M.K

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】非晶氧化铝要用什么腐蚀液腐蚀

RT,
要做光刻,不知道非晶氧化铝(100nm左右),用什么腐蚀液腐蚀,请大家多多指教。谢谢。
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魔鬼的孩子自有魔鬼的好运
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木虫 (小有名气)

甲虫

M.K(金币+5): 2010-10-17 19:39:06
一般用碱液能溶解氧化铝。话说我做的纳米非晶氧化铝纤维用酒精就能洗掉了,根本没法做电镜
2楼2010-10-17 19:04:24
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