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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 第一性原理 » MS » 【求助】射频放电等离子体制备建模求助
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新雨人生

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】射频放电等离子体制备建模求助

氩气和硅烷的混合气体从上端进入外径和内径分别为12mm和8mm的石英管中。频率为13.56MHz，功率为100W的射频电源通过匹配网络加到两个铜环上。放电气压保持在200Pa。离开等离子体区后，粒子进入一个膨胀的腔体，在距离等离子体区大约3cm处，粒子以粉末的形式收集在一个一个不锈钢网上
  
求助  高手    这个实验过程可以建立一个模型吗？用什么软件建模比较好？
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1楼 2010-10-09 16:57:46
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cenwanglai

荣誉版主 (知名作家)

老和山猥琐派九段

优秀版主
★
zxzj05(金币+1):谢谢提供有价值信息！ 2010-10-10 13:21:20
新雨人生(金币+2):谢谢 2010-10-10 18:33:36
这个好像用MS有难度呢。
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2楼2010-10-10 09:47:49
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zxzj05

荣誉版主 (著名写手)
★
新雨人生(金币+8):谢谢提供信息 2010-10-10 18:34:08
cenwanglai(金币+1):谢谢回复！ 2010-10-11 08:53:12
第一性原理无法完成次模拟，
建议到仿真模拟，COMSOL Multiphysics 可能可以完成你所需要的模拟。
赞一下(1人) 回复此楼
储氢家族欢迎储氢研究者！
3楼2010-10-10 13:23:09
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