| 查看: 758 | 回复: 2 | |||
[交流]
【求助】射频放电等离子体制备建模求助
|
氩气和硅烷的混合气体从上端进入外径和内径分别为12mm和8mm的石英管中。频率为13.56MHz，功率为100W的射频电源通过匹配网络加到两个铜环上。放电气压保持在200Pa。离开等离子体区后，粒子进入一个膨胀的腔体，在距离等离子体区大约3cm处，粒子以粉末的形式收集在一个一个不锈钢网上 求助 高手 这个实验过程可以建立一个模型吗？用什么软件建模比较好？ |
回复此楼» 猜你喜欢
Materials Today Chemistry审稿周期
已经有5人回复
-
溴的反应液脱色
已经有7人回复
-
国自然申请面上模板最新2026版出了吗？
已经有11人回复
-
推荐一本书
已经有12人回复
-
基金申报
已经有4人回复
-
计算机、0854电子信息（085401-058412）调剂
已经有4人回复
-
纳米粒子粒径的测量
已经有7人回复
-
常年博士招收(双一流，工科)
已经有4人回复
-
参与限项
已经有5人回复
-
有没有人能给点建议
已经有5人回复
cenwanglai
荣誉版主 (知名作家)
老和山猥琐派九段
- 1ST强帖: 5
- 应助: 46 (小学生)
- 贵宾: 8.842
- 金币: 7440.4
- 散金: 9654
- 红花: 118
- 沙发: 23
- 帖子: 5306
- 在线: 1961.4小时
- 虫号: 537452
- 注册: 2008-04-01
- 性别: GG
- 专业: 理论和计算化学
- 管辖: 仿真模拟
2楼2010-10-10 09:47:49
zxzj05
荣誉版主 (著名写手)
- 1ST强帖: 1
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 1.242
- 金币: 5912.5
- 红花: 2
- 帖子: 1528
- 在线: 144.5小时
- 虫号: 406147
- 注册: 2007-06-18
- 性别: GG
- 专业: 金属功能材料
- 管辖: 第一性原理
3楼2010-10-10 13:23:09