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【求助】射频放电等离子体制备建模求助
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氩气和硅烷的混合气体从上端进入外径和内径分别为12mm和8mm的石英管中。频率为13.56MHz,功率为100W的射频电源通过匹配网络加到两个铜环上。放电气压保持在200Pa。离开等离子体区后,粒子进入一个膨胀的腔体,在距离等离子体区大约3cm处,粒子以粉末的形式收集在一个一个不锈钢网上![]() 求助 高手 这个实验过程可以建立一个模型吗?用什么软件建模比较好? |
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cenwanglai
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