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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】低温等离子体发射光谱诊断
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张学宇1983

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】低温等离子体发射光谱诊断 已有1人参与

本人在做ECR-PECVD的n型硅薄膜研究，想通过发射光谱诊断一下等离子体的环境。其中H，Ar，SiH的光谱在文献中已经找到，但没有找到PH的发射光谱，也找了一些书籍，但都没找到，希望老师或同学们给予帮助，最好是一些发射光谱的资料库，或相关文献。如果有帮助定会奖励，谢谢！
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1楼 2010-10-07 09:12:34
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪
★
张学宇1983(金币+5):谢谢回复，我QQ65023627，可以的话一起讨论下 2010-10-08 08:20:49
tongling921(金币+1):谢谢回复 2010-10-14 15:34:39
你的工作条件是什么样的呢，比如气压之类的，ECR一般气压比较低，我们也用光谱测过，不过我们工作气压太低，光谱仪测出来的效果不怎么好！暂时有探针测的！
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有实力才有魅力！
3楼2010-10-07 17:36:28
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张学宇1983

木虫 (小有名气)

金币太少了？

是不是金币太少了，不知道行情
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2楼2010-10-07 16:31:36
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wy78963

金虫 (小有名气)
★
张学宇1983(金币+5): 2010-10-14 09:16:23
tongling921(金币+1):谢谢回复 2010-10-14 15:34:43
你可以参考俞昌旋老师高温等体诊断技术第五章相关章节
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微笑面对一切
4楼2010-10-10 09:20:48
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张学宇1983

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫:)(金币+2):规范操作，奖励金币并关贴 2010-10-14 20:05:26
求助成功【已解决】
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5楼2010-10-14 09:16:59
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