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张学宇1983木虫 (小有名气)
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【求助】低温等离子体发射光谱诊断已有1人参与
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| 本人在做ECR-PECVD的n型硅薄膜研究,想通过发射光谱诊断一下等离子体的环境。其中H,Ar,SiH的光谱在文献中已经找到,但没有找到PH的发射光谱,也找了一些书籍,但都没找到,希望老师或同学们给予帮助,最好是一些发射光谱的资料库,或相关文献。如果有帮助定会奖励,谢谢! |
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