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【求助】低温等离子体发射光谱诊断 已有1人参与
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| 本人在做ECR-PECVD的n型硅薄膜研究，想通过发射光谱诊断一下等离子体的环境。其中H，Ar，SiH的光谱在文献中已经找到，但没有找到PH的发射光谱，也找了一些书籍，但都没找到，希望老师或同学们给予帮助，最好是一些发射光谱的资料库，或相关文献。如果有帮助定会奖励，谢谢！ |
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