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[求助]
问一靶材方面的问题
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| 一个直径2英寸 厚度5毫米的靶材 如铟靶 铜镓合金靶 铜铟合金靶 等在磁控溅射仪器上使用 大概可用多长时间 谢谢 |
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qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
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- 管辖: 有奖问答
【答案】应助回帖
406101675(金币+5, 博学EPI+1): 2010-09-28 14:18:48
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这个与溅射条件、靶材成分、工艺均匀性的忍受程度等密切相关。 参考： 6mm厚的ITO靶连续使用十天左右就得更换靶材。 https://www.docin.com/p-44619734.html |
4楼2010-09-28 14:05:21
2楼2010-09-28 13:53:21
3楼2010-09-28 13:54:20