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406101675

铜虫 (正式写手)

[求助] 问一靶材方面的问题

一个直径2英寸  厚度5毫米的靶材  如铟靶  铜镓合金靶  铜铟合金靶  等在磁控溅射仪器上使用 大概可用多长时间 谢谢
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406101675

铜虫 (正式写手)

问一下靶材方面的问题

也就是他们的使用时间
2楼2010-09-28 13:53:21
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406101675

铜虫 (正式写手)

问一下靶材方面的问题

也就是在靶材未用坏的情况下的使用年限
3楼2010-09-28 13:54:20
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

406101675(金币+5, 博学EPI+1): 2010-09-28 14:18:48
这个与溅射条件、靶材成分、工艺均匀性的忍受程度等密切相关。

参考:
6mm厚的ITO靶连续使用十天左右就得更换靶材。
https://www.docin.com/p-44619734.html
没有困难创造困难也要上网。
4楼2010-09-28 14:05:21
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