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【求助】做APCVD时硅烷氧化成白色粉末,可能是什么原因?
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专业: 无机非金属类光电信息与功
[交流]
【求助】做APCVD时硅烷氧化成白色粉末,可能是什么原因?
att
长时间持续
1漏气
2温度不够(会不会是这个原因?)
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1楼
2010-09-21 16:00:28
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